Sputteranlage: Denton Vacuum DESK V
Sandstrahlanlage: Refert Basic Classic
Mikroskop: Olympus SZX7 Stereo Microscope
Laborofen: Memmert UFP 500 (25 to 250°C)
Feuchtegenerator: ProUmid MHG100
Gase: Luft, N2, He, CO2, Ar
Gasfluss: 0 bis 15 l/min
Temperaturbereich: 5 bis 90 °C
Relative Luftfeuchtigkeit: 5 bis 95 %
Wasserdampfgenerator: ADROP ASTEAM DV2
Gase: Luft, N2, He, CO2, Ar
Gasfluss: 100 g/h
Temperaturbereich: 120 bis 200 °C
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 bis 100 %